SGC-22SA-IAD

Regen 再生

Chamber 房間

DEGAS TEMP

FILAMENT 燈絲

EMISSION CURRENT 發射電流

ANODE 陽極

NEUTRALIZER 中和劑

VENT 洩真空



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百帕=毫巴

粗略真空(Rough Vacuum, RV)
壓力範圍：1.0E+3~1毫巴，氣流為黏滯流

中度真空(Medium Vacuum, MV)
1~1.0E-3毫巴，過度流

高真空(High Vacuum, HV)
1.0E-3~1.0E-7毫巴，分子流

超高真空(Ultra High Vacuum, UHV)
1.0E-7以下，分子流

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真空鍍膜所需設備：
1.高真空系統
2.輝光放電系統
3.蒸鍍源
4.基板溫度控制器
5.膜厚監視器(水晶監視器)

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RP(Rotary Pump)迴轉幫浦
MBP(Mechanical Booster Pump)機械輔助幫浦
DP(Diffusion Pump)擴散幫浦
MV(Main Valve)主閥門
RV(Rough Valve)粗抽閥門
SRV(Slow Rough Valve)慢速粗抽閥門
FV(Fore Valve)前閥門
VV(Vent valve)破真空閥門
SVV(Slow Vent Valve)慢速破真空閥門

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睏了，明天待續...

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